設(shè)備組成:
布里奇曼晶體生長(zhǎng)(坩堝下降法),用電阻爐或感應(yīng)加熱爐,常用于堿土金屬鹵化物和氟化物單晶生長(zhǎng)。設(shè)備主要由加熱爐膛,密封爐管腔室,伺服引上和下降裝置、控制系統(tǒng)及真空系統(tǒng)組成。
加熱爐膛:
爐膛全部采用氧化鋁纖維材料經(jīng)獨(dú)特?cái)?shù)控工藝構(gòu)筑而成,纖維最高耐溫1400℃,襯體制作完成后,表面噴有一層高溫固化劑,形成一層隔熱墻,增大襯體面的強(qiáng)度及熱輻射性能,并進(jìn)一步減小襯體蓄熱損失,達(dá)到快速升溫的效果,最大限度提高爐子的熱效率,具有良好的節(jié)能效果。保溫材料由高鋁纖維超硬板、含鋯高鋁針刺毯、高鋁耐火纖維制品組成復(fù)合保溫層,保溫效果好。
技術(shù)參數(shù):
1、設(shè)計(jì)溫度:1100℃
2、工作溫度:≤1000℃
3、加熱功率:≤10Kw±10%
4、加熱方式:進(jìn)口康泰爾電阻絲加熱
5、石英管尺寸:Φ100×1200mm
6、加熱區(qū)長(zhǎng)度:200+200+200mm 三區(qū)獨(dú)立控制
7、控溫系統(tǒng):熱電偶+程序儀表自動(dòng)控溫
8、控溫元件:進(jìn)口馬琳K型熱電偶
9、極限真空度:≤50pa(冷態(tài)空載)
密封爐管腔室:
爐管采用耐高溫石英管,上下采用KF不銹鋼通水法蘭密封(水源需方自備),上法蘭設(shè)計(jì)布里奇慢裝置接口與焊接波紋管鏈接,采用伺服電機(jī),提拉速度精度高,可調(diào)性強(qiáng),同時(shí)配置磁流體密封。
伺服提拉裝置:
電機(jī)控制采用PLC+觸摸屏方式,速度位移按照工藝要求任意設(shè)定,保證其行走速度的穩(wěn)定性和位置的準(zhǔn)確性。
慢速:0.01-10mm/h(伺服控制)
快速:50-200mm/min(伺服控制)
位移行程:600mm
控制系統(tǒng):
溫度控制系采用廈門(mén)宇電AI808P移相調(diào)壓控制。位移采用三菱FXPLC所有操作由人機(jī)界面智能操作,停止,暫停,程序設(shè)定。升降速度設(shè)定。
真空系統(tǒng):
真空系統(tǒng)采用單級(jí)泵配置,由一臺(tái)BSV40機(jī)械泵、電磁壓差閥、充氣閥、放氣閥、自動(dòng)泄壓閥、真空壓力表、數(shù)顯真空測(cè)量規(guī)管等裝置,真空管道與泵的聯(lián)接采用金屬波紋管減緩震動(dòng),真空度的測(cè)量由成都正華數(shù)顯真空計(jì)執(zhí)行。