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上海中科神光光電產(chǎn)業(yè)有限公司
產(chǎn)品&服務(wù)
高真空晶體爐
    發(fā)布時間: 2025-06-18 14:28    
高真空晶體爐

用途概況:
  高真空晶體爐采用感應(yīng)加熱、電阻加熱方式,可用銥金、鉑金、石墨、鉬等坩堝。
主要用途和適用范圍:

  可以生長氧化物晶體(如YAG:Nd、Al2O3、TeO2、LiTaO3、LiNbO3等),是科研院所、企事業(yè)單位新晶體材料的提拉法、下降法、泡生法、溫梯法生長性能研究和生產(chǎn)的優(yōu)良可靠設(shè)備。

主要功能與特點:
  1.高精度絲杠、高質(zhì)量電機使得傳動系統(tǒng)更加精確和穩(wěn)定。
  2.模塊化電路設(shè)計,控制電路更加穩(wěn)定、可靠、易于維護(hù)。
  3.高精度重量傳感器保證了出色的自動直徑控制性能。
  4.全電腦控制,晶體外形控制更出色、更少人工監(jiān)測。
  5.關(guān)鍵參數(shù)實時呈現(xiàn),晶體生長過程一目了然。
  6.緊急情況自動處理,為設(shè)備和坩堝提供一定的安全保障。
技術(shù)參數(shù):
  1.原理加熱采用感應(yīng)加熱方式,坩堝在石英管內(nèi),封裝在外殼內(nèi)。分子泵外置。
  2.石英桶 80*90*400用于放置坩堝保溫材料。
  3.中頻功率15KW,2.5kHz
  4.真空5*10-3PA冷爐極限真空
  5.慢速提拉0.1-10mm/h
  6.快速提拉10-70mm/min
  7.旋轉(zhuǎn)速度0.1-50r/min
  8.坩堝35*35,可加熱至1600度材質(zhì)Pt,
  9.下部密封與石英桶密封,循環(huán)水強制冷卻。抽真空接口,充氣口。
  10.上部密封與石英桶密封,循環(huán)水強制冷卻,與上提拉波紋管接口
  11.旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)電機,旋轉(zhuǎn)密封磁流體
  12.提拉機構(gòu)旋轉(zhuǎn)機構(gòu)安裝上提拉機構(gòu)移動塊上。提拉機構(gòu)包括,步進(jìn)電機,減速機,滾珠絲杠、導(dǎo)軌,立柱和立柱旋轉(zhuǎn)機構(gòu)。
  13.HMI用于設(shè)定升降問程序,運行,停止、暫停,中頻啟停。升降控制包括,慢升,慢降,快升和快降及速度大小。(快升為手按住升或?qū)?,松開停止)旋轉(zhuǎn)控制包括:正轉(zhuǎn),反轉(zhuǎn),停止,速度大小。
  14.指示燈三色,紅、黃、綠,用于故障報警。

  15.為控制柜包括溫度控制,運動控制電器等安裝參數(shù)。

注:可根據(jù)要求定制爐膛尺寸,其他特殊要求訂貨時請說明。