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上海中科神光光電產(chǎn)業(yè)有限公司
產(chǎn)品&服務(wù)
單晶提拉爐
    發(fā)布時間: 2025-06-18 14:31    
單晶提拉爐

一、 主要技術(shù)參數(shù):

  1、熔料量:2Kg(以金屬銦7.3g/cm3計)
  2、工作溫度:500℃;
  3、設(shè)計溫度:800℃;
  4、坩堝材質(zhì):超高純石墨;
  5、加熱方式:石墨加熱;
  6、電極中心距/數(shù)量:300mm(一對);
  7、功率:30KW;
  8、冷爐的極限真空度:≤6.67*10-2pa;
  9、冷爐泄漏率:≤10Pa/h;
  10、爐膛設(shè)計壓力:≤0.03MPa;
  11、籽晶拉速范圍:2~80mm/h;
  12、籽晶桿快升/快降: ≥100mm/min;
  13、籽晶桿轉(zhuǎn)速范圍:1~50rpm;
  14、坩堝行程:150mm;
  15、坩堝轉(zhuǎn)速范圍:5~15rpm;
  16、下降桿快升/快降:50mm/min;
  17、水冷系統(tǒng): 室外閉式循環(huán)冷卻系統(tǒng),流量5m3/h。
  18、控溫精度:±1℃。
二、 結(jié)構(gòu)及性能說明:
  SG-GJL800型單晶提拉爐主要部分組成
1、爐體:

  真空爐室尺寸φ400*700mm,雙層通水爐壁用304不銹鋼,爐門為側(cè)開門,爐門上設(shè)有通水石英觀察窗。
2、真空系統(tǒng):
  2.1為適應(yīng)用戶的工藝要求,配備擴散泵機組。
  2.2真空閥為真空碟閥;在機械泵抽氣口安裝有電磁真空壓差放氣閥。
3、真空計:

  真空計是用來測量真空度的裝置。設(shè)備中設(shè)置了壓力真空表(安裝在與爐體的真空管道上)與熱偶真空計兩種;真空硅管安裝在爐體排氣口與真空碟閥連接的管道上,用來測量真空度。
4、提拉機構(gòu):

  采用滾珠絲杠加導(dǎo)軌拖動移動平臺直線運動。 稱重控制采用應(yīng)變式傳感器。提拉速度和旋轉(zhuǎn)速度在觸摸屏上設(shè)置,具有故障報警、報警記錄、數(shù)據(jù)記錄,斷電自動處理,超壓報警等,數(shù)據(jù)記錄可以通過U盤拷出放入計算機進行分析。
5、加熱系統(tǒng):

  隔熱屏采用石墨及碳氈材料制作,結(jié)構(gòu)型式為圓形隔熱屏,加熱器也采用石墨圓型結(jié)構(gòu)型式,安裝在圓形隔熱屏的圓周上,使其形成一個整體;加熱器采用銅電極連接石墨發(fā)熱體,易于拆卸和維修。
6、電控系統(tǒng):

  昆侖通泰10寸液晶觸摸屏顯示,以實現(xiàn)數(shù)據(jù)的存儲、輸出,可通過U盤復(fù)制到計算機上,曲線實時顯示屏;讓程序設(shè)置更快捷,設(shè)備運行狀態(tài)更直觀,設(shè)定數(shù)據(jù)和操作都是圖文界面,操作方便;針對數(shù)據(jù)的存儲、輸出,可通過USB接口復(fù)制數(shù)據(jù)到計算機上長期保存,可以預(yù)設(shè)多條加熱曲線??販鼐取?℃。專家模塊和控制算法相結(jié)合,實現(xiàn)精密控溫,有效抑制溫度過沖。超溫報警系統(tǒng)具有切斷主回路、聲光報警和自動恢復(fù)解除功能。

注:可根據(jù)要求定制爐膛尺寸,其他特殊要求訂貨時請說明。