產(chǎn)品描述：
本設(shè)備主要應(yīng)用于光電子器件、新能源、太陽能電池、集成電路制造及對半導(dǎo)體等材料進行擴散、氧化、退火和沉積等工藝，可用于各種工藝尺寸。該設(shè)備系統(tǒng)具有精確微機控制系統(tǒng)，氣體控制系統(tǒng)、具有多種故障報警及安全互鎖功能。
結(jié)構(gòu)介紹：
臥式擴散爐是石英舟平行于水平面，一臺可以單管或多管的工藝爐管，平均爐管的占地面積更小，片間的工藝參數(shù)較立式擴散爐更好,更加有利于機械手傳送光學(xué)襯底片，片內(nèi)工藝參數(shù)一致性較好。
擴散爐由控制系統(tǒng)、進出舟系統(tǒng)、爐體加熱系統(tǒng)和氣體控制系統(tǒng)等組成：
控制系統(tǒng)：采用觸摸一體機，傳感器萬能輸入，控制精度為0.1級。本控制系統(tǒng)采用高精度溫度控制專用模塊進行溫度控制。主控單元(PLC)通過RS485通訊口與儀表通訊，可通過工藝編程實現(xiàn)全自動執(zhí)行升、恒、降溫度曲線(工藝設(shè)定和監(jiān)控在工控機上）。溫控模塊使用自整定的PID進行溫度的精確控制
進出舟系統(tǒng)：手動進出料或自動進出料(有手動石英拉鉤和懸臂槳兩種結(jié)構(gòu)）；
加熱系統(tǒng)：爐體由進口KANTHAL（康泰爾）公司生產(chǎn)的高溫爐絲，英國MORGAN（摩根）保溫棉，優(yōu)質(zhì)99瓷絕緣子，管口處采用進口陶瓷纖維，不銹鋼304外殼等部分組成，設(shè)備上裝有測溫?zé)犭娕己统瑴責(zé)犭娕迹?/span>
氣路系統(tǒng):氣路系統(tǒng)包括質(zhì)量流量控制器、氣動閥、不銹鋼接頭、過濾器、減壓器、單向網(wǎng)等，管道采用耐蝕不銹鋼管。密封良好。整個管路各個網(wǎng)門之間采用程序互鎖，保證了各個閥門之間的連鎖互動關(guān)系。所有氣路管道及閥門均采用316L不銹鋼管材，軟管路均采用聚四氟乙烯管路連接。可通入保護性氣體(正壓＜0.04MPa下使用)。
設(shè)備型號 | SG-KSL1200 |
爐管尺寸 | Φ40mm～Φ300mm(石英管)(可定制） |
加熱元件 | 進口KANTHAL（康泰爾）電阻絲 |
測溫元件 | K型熱電偶或S型熱電偶 |
控溫方式 | 采用觸摸一體機，傳感器萬能輸入，控制精度為0.1級。本控制系統(tǒng)采用高精度溫度控制專用模塊進行溫度控制。主控單元(PLC)通過RS485通訊口與儀表通訊，可通過工藝編程實現(xiàn)全自動執(zhí)行升、恒、降溫度曲線(工藝設(shè)定和監(jiān)控在工控機上）。溫控模塊使用自整定的PID進行溫度的精確控制。 |
氣氛保護 | 可通氮氣，氬氣等惰性氣體(正壓＜0.04Mpa下使用) |
恒溫區(qū)長度 | 80mm、180mm、280mm、350mm、450mm、550~950mm（可定制尺寸） |
工作溫度 | 1150℃、1200℃、1350℃、1500℃、1600℃、1700℃(可定制） |
工作電源 | 220V或380V |
升溫速率 | 1~15℃/min |
控溫精度 | ±0.5℃ |
溫度均勻度 | ≤±5℃ |
注：可根據(jù)要求定制爐膛尺寸，其他特殊要求訂貨時請說明。
